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Plasma Modulex

玻尔兹曼直流辉光放电 中文

此 App 对直流辉光放电建模,采用*玻尔兹曼方程,两项近似* 接口计算电子能量分布函数 (EEDF) 和电子传递属性。由于*玻尔兹曼方程,两项近似* 接口的输入参数(例如等离子体的电离度)*事先* 未知,因此要执行迭代过程,交替计算玻尔兹曼研究和等离子体研究,直到电子密度的偏差低于用户定义的值,这样一来,可以分析几何结构每个点处的 EEDF。 扩展阅读

热等离子体

此模型模拟中等压力(2 托)下的等离子体,这时等离子体仍未处于局部热力学平衡。在低压下,两个温度解耦,但随着压力的增加,这两个温度趋向于相同的极限。 扩展阅读

电容耦合等离子体 中文

NIST 主办的气体电子学会议 (Gaseous Electronics Conference) 提供了一个研究电容耦合等离子体 (CCP) 反应器的平台,这是该 App 的基础。 ... 扩展阅读

漂移扩散教学模型

“漂移扩散”接口求解一对反应/对流/扩散方程,其中一个方程描述电子密度,另一个描述平均电子能。 该教学案例计算了漂移管中的电子数密度和平均电子能。由于左边界上的热电子发射,电子以假定的平均电子能释放。随后,由于施加的外部电场与电子漂移速度方向相反,因此电子朝右边界加速运动。 扩展阅读

氮中的负流注

流注放电是瞬态丝状放电,在存在强电场的情况下,可以在非导电背景中发展,这种放电可以获得较高的电子数密度,并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 流注的传播由高度非线性的动力学驱动,该动力学涉及非常陡峭的密度梯度和分布在非常薄的层中的高空间电荷密度。本教学案例研究 -100 kV/cm 恒定电场下大气压氮中的负流注,模型是一维的,描述初始电子种子在无扰动电场中从电子生长到流注传播的瞬态特性。 扩展阅读

将电流-电压开关应用于模型

本例举例说明如何模拟*终端* 边界条件下电流和电压激励之间的切换。有关这一现象的更详细描述以及建模过程,请参阅博客文章“[使用 AC/DC 模块控制电流和电压源](https://cn.comsol.com/blogs/control-current-and-voltage-sources-with-the-acdc-module/)”。 扩展阅读

GEC CCP 反应器

此模型利用_等离子体,时间周期_ 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场,而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动,结果与文献中发表的结果非常一致。 扩展阅读

微波微等离子体

维持在微尺度放电间隙中的等离子体能够以高电子数密度 (1020 m-3) 和功率密度 (109 W.m-3) 在高压(1 个大气压)下运动,同时保持相对较低的重粒子温度。此模型模拟微波范围内时变电激励下的大气压氩等离子体,模型在外加场方向上是一维的,描述了等离子体多个宏观属性的空间和时间演变。 扩展阅读

氩气玻尔兹曼分析

电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式,如麦克斯韦或 Druyvesteyn,但在某些情况下,解析形式不适合放电物理场。 本教学案例研究了各种参数对氩放电电子能量分布函数和速率系数的影响。 扩展阅读

离子能量分布函数

离子能量分布函数(IEDF)是求解自洽等离子体模型之后最有用的物理量之一。IEDF 的大小和形状取决于许多放电参数:压力、等离子体电位和鞘套宽度等。在非常低的压力下,可以认为等离子体鞘套不发生碰撞,这意味着离子能量不会因与背景气体的碰撞而减小。在较高的压力下,离子与鞘套中的背景气体分子发生碰撞,它们在与表面碰撞的瞬间能量减小。需要“粒子追踪模块”。 扩展阅读