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Plasma Modulex

热等离子体 中文

此模型模拟中等压力 (2 torr) 下的等离子体,这时等离子体仍未处于局部热力学平衡。在低压下,两个温度解耦,但随着压力的增加,这两个温度趋向于相同的极限。 扩展阅读

通过两项玻尔兹曼方程耦合模拟 GEC ICP 反应器 中文

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程,对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程,并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读

面内微波等离子体 中文

微波加热导致的放电可以非常简单,例如使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如在 ECR(电子回旋共振)反应器中的放电。在本案例中,微波发射到反应器中,产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。 扩展阅读

使用等离子体模块的表面化学反应教程 中文

表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中,随后模拟硅在晶片上的生长。 最初,使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读

大气压下电晕放电

此模型模拟两个同轴导体之间的负电晕放电。向内导体施加负电势,外部导体接地。在大气压下的氩气中模拟放电。 扩展阅读

GEC CCP 反应器,氩化学 中文

此模型利用等离子体,时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场,而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读

偶极微波等离子体源 中文

此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源,这称为电子回旋共振 (ECR),在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型,展示 COMSOL 的多项独特功能,包括: ... 扩展阅读

脉冲 CCP 放电 中文

本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期,以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读

热电冷却器,集总热系统

热电冷却器广泛用于各种电子设备冷却,涉及从消费品到航天器设计在内的各个应用领域。热电模块是热电在冷却工程中的一种常见应用,其中含有的多个热电臂夹在两块导热板中间,一块导热板受冷,另一块受热 ... 扩展阅读

阻抗匹配 中文

本教学案例在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体。在低功率时,电流中的谐波较小,在选定功率值下可获得完美匹配。执行功率、频率和压力扫描,并研究它们对匹配功率传输比和效率的影响。最后 ... 扩展阅读