偶极微波等离子体源

Application ID: 10512


本例研究了通过电子回旋共振 (ECR) 维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入的功率沉积只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度 (0.0875 T)。\n\n需要“等离子体模块”、“AC/DC 模块”和“RF 模块”。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块