偶极微波等离子体源

Application ID: 10512


此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源,这称为电子回旋共振 (ECR),在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。

这是一个高级模型,展示 COMSOL 的多项独特功能,包括:

  • 用于静磁模型的无限元。
  • 基于功能的网格自适应,可在 ECR 表面上创建细化网格。
  • 用于表示电磁波的 PML
  • 高频电场所有 3 个分量的自由度(虽然事实上是几何轴对称问题)。
  • 用于等离子体电导率和带电粒子传递属性的全各向异性张量。
  • ECR 表面的电子共振功率吸收。
  • 基于方程建模,使用集成物理量来确定总吸收功率。
  • 求解器求解顺序为先计算静磁场,然后求解所有等离子体分量。
此模型需要使用“等离子体模块”、“AC/DC 模块”和“RF 模块”。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块