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偶极微波等离子体源

Application ID: 10512


本案例研究了通过电子回旋加速器共振(ECR)维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入通量只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度(0.0875[T])。

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Plasma Module