偶极微波等离子体源

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本案例研究了通过电子回旋加速器共振(ECR)维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入通量只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度(0.0875[T])。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块