面内微波等离子体

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波加热放电可以非常简单,其中使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如使用 ECR(电子回旋共振)反应器的情况。在示例中,波发射到反应器中,产生氩等离子体。波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块