面内微波等离子体

Application ID: 8664


微波加热导致的放电可以非常简单,例如使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如在 ECR(电子回旋共振)反应器中的放电。在本案例中,微波发射到反应器中,产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块