MEMS 器件的多物理场仿真

时长: 56:57

随着科技的快速发展,MEMS 器件在消费电子、汽车、航空航天,以及医疗等众多领域中的应用越来越广泛。MEMS 器件的设计需要深入了解微观尺度上各种物理现象之间的相互作用,包括静电、结构力学、压电和压阻,以及电热耦合、流固耦合等多物理场耦合效应。借助多物理场仿真技术,可以准确描述这些物理现象之间的相互作用,帮助工程人员快速优化产品设计、提升产品性能。

本视频介绍了如何使用 COMSOL 多物理场仿真软件针对不同类型的 MEMS 器件进行设计与开发。

相关案例:

      电容式压力传感器       表面微机械加速度计       压电微泵

相关资源:

      使用 COMSOL Multiphysics® 模拟 MEMS 加速度计和陀螺仪
      模拟惯性测量单元中使用的 MEMS 加速度计和陀螺仪
      使用 COMSOL Multiphysics® 深入探究 MEMS 技术
      MEMS 加速度计的静电吸合效应仿真分析