COMSOL® 中的等离子体仿真
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等离子体作为物质的第四态，是一种呈宏观电中性的电离气体，其中的带电粒子和中性粒子在电磁场作用下表现出集体行为，这种物理系统包含电子和离子输运、碰撞化学反应、电磁、热传递和流体流动等多个物理场之间的强耦合相互作用。COMSOL Multiphysics® 提供了等离子体模块，可用于模拟各种科学和工程领域中的非平衡和平衡放电现象，帮助工程师和研究人员设计等离子体反应器，研究电力和电子设备中的放电等现象。
在本次网络研讨会中，我们将演示如何使用 COMSOL 多物理场仿真软件模拟等离子体的产生过程，包括电气设备、半导体加工中涉及到的直流放电、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体、微波等离子体，以及电弧等现象。
相关案例：
直流辉光放电 电感耦合等离子体 (ICP) 炬 教学案例：GEC CCP 反应器
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