COMSOL Multiphysics^® 在半导体制造中的应用

本视频介绍了 COMSOL 多物理场仿真在半导体制造工艺中的广泛应用，涉及晶圆制备、刻蚀、光刻、离子注入、薄膜沉积等过程。还展示了半导体制造过程中真空系统、静电卡盘、热处理等常用设备的仿真方法。

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