COMSOL^® 等离子体仿真简介

通过数值方法对等离子体现象进行模拟，可以计算等离子体沉积率、击穿电位，从而预测等离子的体动力学特性，以及对相关器件进行量化设计和优化设计。本次研讨会重点介绍 COMSOL^® 多物理场仿真在等离子体仿真方面的各项功能，主要内容包括：

• 介绍等离子体的放电过程，以及其中涉及到的流体、传热、电磁场、质量传递等各种多物理场间的相互作用
• 讲解直流放电、介质阻挡放电、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体，以及与高频电磁场耦合的微波等离子体
• 讲解在 COMSOL^® 中对电容耦合等离子体建模的方法和软件的功能
  
  

相关案例：

      直流辉光放电       电感耦合等离子体 (ICP) 炬       GEC CCP 反应器，氩化学

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