COMSOL® 等离子体仿真简介

时长: 42:57

通过数值方法对等离子体现象进行模拟,可以计算等离子体沉积率、击穿电位,从而预测等离子的体动力学特性,以及对相关器件进行量化设计和优化设计。本次研讨会重点介绍 COMSOL® 多物理场仿真在等离子体仿真方面的各项功能,主要内容包括:

  • 介绍等离子体的放电过程,以及其中涉及到的流体、传热、电磁场、质量传递等各种多物理场间的相互作用
  • 讲解直流放电、介质阻挡放电、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体,以及与高频电磁场耦合的微波等离子体
  • 讲解在 COMSOL® 中对电容耦合等离子体建模的方法和软件的功能

相关案例:

      直流辉光放电       电感耦合等离子体 (ICP) 炬       GEC CCP 反应器,氩化学

相关主题网络研讨会:

      容性耦合等离子体的建模
      COMSOL® 中的微波加热仿真
      COMSOL® 中低温等离子体建模