负载锁定真空系统中水的吸附和解吸

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本案例介绍了如何模拟低压下真空系统中水的瞬态吸附和解吸。当打开负载锁的闸阀后,水被引入到系统中,模型对随后水的迁移和泵送进行建模。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块