电容耦合等离子体

Application ID: 23351


NIST 主办的气体电子学会议 (Gaseous Electronics Conference) 提供了一个研究电容耦合等离子体 (CCP) 反应器的平台,这是该 App 的基础。

电容耦合等离子体的工作原理与电感耦合等离子体不同。在 CCP 反应器中,在充满低压气体(通常压力为 1 托,此例中的气体为氩气)的小间隙施加正弦静电势来维持等离子体。功率沉积到 CCP 反应器的机理是高度非线性的,系统需要足够多的 RF 周期才能得出周期性稳态解。

在该 App 中,用户可以提供输入,配置等离子体和电介质的属性,也可以进行常规的操作输入,例如输入单元的物理尺寸、RF 周期数以及驱动频率和电压。

绘图显示上一个 RF 周期上的时间/周期平均数据和瞬时数据,以及激发态物质的演变,还提供了时间平均数据的动画。此外,CCP 模拟器还返回周期平均沉积功率和峰值电流。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: