差动泵浦

Application ID: 14313


差动泵浦真空系统使用一个小毛细口或管道连接真空系统中的两个不同压力的部分。当工艺流程要求较高压时就需要这类系统,可通过使用 UHV 的检测器进行监控。本例中,气体通过狭窄管道流入高真空室,通过解析表达式近似得到沿管道的流速。也可以对此模型直接使用实验数据。通过将解析模型耦合到“自由分子流”接口可得到仿真结果,将其与当流动为管道和系统 UHV 部分中的自由分子流时管道中以及低压限制下的仿真结果进行比较。\n\n本例需要 7.5G 内存,数小时计算时间。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块