差动泵浦

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压差真空系统使用小孔或管来连接真空系统中两个压力相差较大的部分。当工艺在较高压力下运行,并且由需要 UHV 才能运行的检测器进行监控时,需要使用这种系统。在模型中,使用流率的解析式对气流通过狭窄管道流入高真空室的过程作近似处理。还可以适当修改该模型来直接使用实验数据。将通过解析模型与“自由分子流”接口相耦合得到的结果与在系统的管道和 UHV 部分包含自由分子流的仿真进行了比较。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块