差动泵浦

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差动泵浦真空系统使用一个小毛细孔或管道连接真空系统中两个压力不同的部分。这类系统常用于工艺流程要求在较高压下运行,并通过使用 UHV 的检测器进行监控。在此模型中,使用流率的解析表达式对气体通过狭窄管道流入高真空室的运动作近似处理。也可以对此模型直接使用实验数据。通过将解析模型耦合到“自由分子流”接口可获得仿真结果,将其与包含管道和系统 UHV 部分的自由分子流的仿真进行了比较。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块