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电感器线圈

Application ID: 12613


本例模拟一个三维电感器线圈的电镀过程。\n\n几何包含掩膜得到的电镀图案,以及光刻胶上方的扩散层。\n\n电解的铜离子的质量传递对于电镀动力学有最主要的影响,导致在电镀图案的外侧出现较大的沉积速率。\n\n本案例使用移动网格进行了瞬态求解。

本案例使用的模块如下:

电镀模块