电感线圈的电镀

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在三维模式下对电感器线圈的沉积进行建模。几何结构包含沉积图案向绝缘光刻胶掩膜的拉伸,以及光刻胶上方的扩散层。

铜离子在电解质中的质量传递对沉积动力学有重大影响,导致沉积图案外侧部分的沉积速率更快。使用动网格在瞬态研究中求解该模型。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

电镀模块