功率沉积到双频电容耦合等离子体中的谐波量

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在时变静电场和电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子间发生的能量传递并不完全发生在二倍的 RF 频率时。由于静电场和电子间的功率传递过程是高度非线性的,因此功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会存在功率沉积的谐波量。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块