双频电容耦合等离子体中功率沉积的谐波量

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从时变静电场到电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子的能量传递并不仅仅发生在两倍的 RF 频率处。由于从静电场到电子的功率传递的高度非线性机理,功率沉积发生在高于两倍驱动频率的频率处。对于双频电容耦合等离子体反应器,功率沉积的谐波量出现在许多不同频率处。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块