双频电容耦合等离子体中功率沉积的谐波含量
Application ID: 10218
从时变静电场到电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子的能量传递并不仅仅发生在两倍的 RF 频率处。由于从静电场到电子的功率传递的高度非线性机理，功率沉积发生在高于两倍驱动频率的频率处。对于双频电容耦合等离子体反应器，功率沉积的谐波含量出现在许多不同频率处。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。