离子注入机

Application ID: 10011


本例考虑离子注入系统的设计。此系统的一个关键设计需求是,在离子束方向上,排气分子的数密度必须很小。本例计算了系统内一个目标排气晶圆绕轴旋转时,沿离子束部分路径的数密度。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块