离子注入器

Application ID: 10011


本案例考虑离子注入系统的设计,一个重要的设计需求是,在离子束方向上,排气分子的数密度必须很小。本模型中,计算了一个目标排气圆片绕轴放置时,在离子束路径上的数密度。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

分子流模块