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Tutorial example of the RF heating of passive conductive implants (rod and screws) inserted in three ... 扩展阅读
This tutorial studies the deposition of amorphous silicon using an inductively coupled plasma reactor with a ... 扩展阅读
如果模型空间外存在您要近似为等效电路的结构，使用“RF 模块”构建的模型可以连接到等效电路。在此模型中，同轴电缆的三维模型连接到与匹配阻抗串联的电压源，并且可以看到同样具有匹配阻抗的负载。 扩展阅读
通过自由空间传播的平面电磁波以一定角度入射到无限电介质。此模型计算反射系数和透射系数，并将结果与菲涅尔方程进行了比较。 扩展阅读
通过自由空间传播的平面电磁波以一定角度入射到无限电介质。模型计算反射系数和透射系数，并与菲涅尔方程给出的结果进行了比较。 扩展阅读
本模型研究了大气压条件下电感耦合等离子体炬的电学和热学特性，其中假设放电过程处于局部热力学平衡状态。 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP，其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置，以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a ... 扩展阅读
在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部，并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气，气体从两个 2 ... 扩展阅读
本教学案例演示如何求解等离子体和半导体等色散介质中的全瞬态波动方程。二维 TM 面内波模型根据波动方程求解矢势，并根据常微分方程求解辅助电极化密度。 几何结构由一块具有亚波长狭缝的色散板组成，其中应用周期性边界条件 ... 扩展阅读