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化学气相沉积 (CVD) 是半导体工业中常用的在晶片基板顶部生长高纯度固体材料层的工艺。 使用许多不同的技术在从大气压到超高真空 (UHV/CVD) 的压力范围内实现 CVD。 UHV/CVD 在低于 10-6 ... 扩展阅读
本例演示如何对管网中的流动、传热、结构变形和应力进行耦合建模;此外,还分析管和流体的重力载荷。 扩展阅读
Tesla 微阀利用惯性流动的非线性特性来产生各向异性流阻。由于其被动的工作机制,它们可以用作坚固的阀门,但对于许多应用来说,其双极性过低。如果通道高度与器件的其他尺寸相似,则二维仿真和优化会高估双极性。 ... 扩展阅读
This example models a small reverse osmosis water desalination unit. The unit consists of a spirally wound ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解,计算了流体流动和气体加热过程。此外,还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的电感耦合等离子体反应器。该模型计算流体流动和气体加热,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例演示如何对狭缝式涂布工艺进行建模,其中使用幂律非牛顿流体描述两相中的一相。模型使用两相流相场法。 扩展阅读
