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弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的基本结构之一。此模型演示悬臂梁在外加静电载荷作用下的弯曲，求解梁在外加电压作用下的变形。 扩展阅读
声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波，其振幅在材料深度方向上迅速衰减，通常呈指数衰减。 声表面波用于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器，声表面波器件通常将电极施加到压电材料 ... 扩展阅读
如果出现滥用，例如内部或外部短路或过热，一个电池单元可能会进入热失控状态，在此期间，电池单元会产生大量的热量。如果在热失控事件中，相邻电池单元之间传递了足够的热量，则这些电池单元也可能会进入热失控状态。 ... 扩展阅读
本模型分析了由悬挂在介电层上方的薄微机械桥构成的 RF MEMS 开关。在开关上施加大于吸合电压的直流电压时，机械桥塌向介电层，从而使器件的电容增大。模型中使用了基于罚函数的方法来模拟接触力 ... 扩展阅读
本示例模型由多晶硅制成的双热臂热执行器组成，执行器由热膨胀驱动。其中通过焦耳热（电阻加热）获得使两个热臂变形，进而使执行器发生位移所需的温度升高。与冷臂相比，热臂的膨胀程度更大，从而导致执行器弯曲。 ... 扩展阅读