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离子敏场效应晶体管 (ISFET) 是用适当的电解质取代 MOSFET 的栅极触点构建的。电解质中特定离子种类的浓度可以通过测量由离子与栅极电介质之间的相互作用引起的栅压变化来确定。 此 ISFET pH ... 扩展阅读

本例说明层流下二维几何结构的湿法化学蚀刻原理。本教学案例的目的是研究湿法蚀刻过程中铜基质材料如何耗尽，以及腔体形状如何演变。湿法化学蚀刻对于微电子工业中集成电路、MEMS 器件、光电子和压力传感器的图案设计尤其重要 ... 扩展阅读

此模型演示如何将流动模型耦合到过程控制机制。 在程序工程中，根据其他应用参数来控制应用参数是非常重要的，大多数控制机构都使用壁或出口处的数据来控制入口参数，如果可以根据组件或设备的数据控制入口参数 ... 扩展阅读

热电臂是热电制冷器或加热器中的基本元件。例如，常见的热电偶就是由两个热电臂构成：一个由 p 型半导体材料制成，另一个由 n 型半导体材料制成，二者是电串联，热并联的关系。 扩展阅读

硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读

压膜气体阻尼是许多 MEMS 换能器和执行器中的关键要素。以加速度计为例，当受到惯性作用时，器件能够检测到相应的运动。其典型的结构是将一个较大的质量块通过弹性梁与周围结构相连，形成一个具有特定共振频率的机械振荡器。然而 ... 扩展阅读

本例在时域和频域模拟静电驱动 MEMS 谐振器，该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中评估谐振频率与直流偏压的相关性，并执行频域和瞬态分析来研究该装置的性能。 扩展阅读

本教程演示如何耦合压力声学，频域、固体力学 和压电材料 来计算超声波停车传感器换能器的响应。然后使用该换能器的远场辐射模式作为射线声学 模型的源，研究给定的停车场景。其中使用内置的根据外场计算释放 特征实现从 FEM ... 扩展阅读

与膜、板或实体等结构物体耦合的液体或气体声学在许多工程领域中都有着重要的应用。 此模型是与实体对象耦合的三维声流体现象的一般演示。实体对象壁受到声压的影响，模型计算实体的频率响应，然后将其反馈回声学域，便于分析波型 ... 扩展阅读

本例模拟一个静电驱动的 MEMS 谐振器。该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中计算谐振器的吸合和释放电压。这是通过对从初始松弛状态一直到吸合平坦状态的整个运动范围的位移-电压轨迹执行准静态分析完成的。 扩展阅读