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本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象,模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征,并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。 扩展阅读
在此模型中,两个端面反射镜相隔一定距离放置,一个球面透镜插入腔中间。射线从激光腔内的一点释放,然后在足够长的预定义时间段内追踪射线。 如果激光腔稳定,则将一直追踪射线,直到预定义的计算时间结束,如果激光腔不稳定 ... 扩展阅读
化学气相沉积 (CVD) 支持薄膜通过吸附在表面并发生反应的分子和分子碎片在基底上生成。本例演示这种 CVD 反应器的建模,其中三乙基镓首先分解,反应产物与砷化氢 (AsH3) 一起吸附在基底并发生反应 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解,计算了流体流动和气体加热过程。此外,还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
分布式布拉格反射镜 (DBR) 是由交替电介质层构成的一种周期性结构,可用于在一定频率范围内实现近全反射。与普通的金属镜相比,DBR 的主要优势在于,它可以设计为在选定的波长上具有定制的反射率。 该 App ... 扩展阅读
本教学案例求解 CF4/O2 混合气体中的电感耦合等离子体反应器问题,其中完全自洽地求解了等离子体传递、磁场、流体流动和传热过程,并对反应器进料中的氧气摩尔分数进行了参数化分析。 扩展阅读
通过本 App,您可以使用 Hodgkin-Huxley 模型模拟细胞膜中的动作电位。由于这是一个仿真 App,因此您可以改变电位、电导率和膜电容的输入参数,来研究它们对系统动力学的影响。 ... 扩展阅读
