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优化斜线硅基 MEMS 二氧化碳探测器能耗

Serge Gidon

CEA, Leti, Minatec, Grenoble, France

CEA-MINATEC 是由法国政府资助的科研机构 CEA 创立的微纳米技术国际中心。他们当前正在进行的一个项目是开发硅基 MEMS 二氧化碳传感器,其采用光学检测来监控建筑是否充分通风。为了让传感器正常工作,需要将一根灯丝加热到特定温度,这样使它可以发出大部分接近特定波长的红外辐射。环绕在周围的二氧化碳会大量吸收这种能量,而其余的红外辐射被检测用以进行二氧化碳的计算。这些传感器在非常低的电流下运行,因此它们可以持续相当一段时间,而与常规二氧化碳传感器相比成本较低。COMSOL Multiphysics 软件可为节能灯丝找到最佳几何,这种灯丝将避开独立式微热板上的热点,同时还减少了能源消耗。将二维模型与 COMSOL 的 ALE(任意拉格朗日 - 欧拉)方法结合使用来探寻优化方法。

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