压阻式压力传感器，壳
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压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比，这种传感器更易于与电子器件集成，响应更加线性，并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过，在工作过程中通常需要更多的功率，并且传感器的基本噪声限度高于电容式压力传感器。过去，压阻器件在压力传感器市场上一直占主导地位。
本例分析最初由摩托罗拉公司（现在的飞思卡尔半导体公司）制造的 MPX100 系列压力传感器的设计。虽然该传感器已停产，模型中还是详细分析了其设计，并提供了飞思卡尔半导体公司的存档数据表。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。