压阻式压力传感器

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压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比,这种传感器更易于与电子器件集成,响应更加线性,并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过,在工作过程中通常需要更多的功率,并且传感器的基本噪声限度高于电容式压力传感器。过去,压阻器件在压力传感器市场上一直占主导地位。

本例分析最初由摩托罗拉公司(现在的飞思卡尔半导体公司)制造的 MPX100 系列压力传感器的设计。虽然该传感器已停产,模型中还是详细分析了其设计,并提供了飞思卡尔半导体公司的存档数据表。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: