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在“感应电机振动”教学案例中，定子绕组中的时谐电流和转子的旋转在转子中产生感应涡流，转子中的感应电流与线圈产生的磁场相互作用，在转子上产生驱动扭矩，转子与定子之间的气隙是不对称的，导致电机振动。 电磁仿真采用二维建模 ... 扩展阅读
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器（也称为 ICP/CCP 反应器），其中计算了流体流动和气体加热，并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象，模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征，并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。 扩展阅读
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源，这称为电子回旋共振 (ECR)，在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型，展示 COMSOL 的多项独特功能，包括： ... 扩展阅读
本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。 扩展阅读
本模型演示如何在简化的扬声器分析中包含某些集总元件的非线性（大信号）特性，并使用等效电路对机械和电气系统进行建模，其中的大信号柔度 CMS(x) 和力因子 BL(x) 是扬声器位置的非线性函数。此外，机械阻尼 RMS ... 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
碳化硅 (SiC) 外延炉是专为生产和制备 SiC 外延片而设计的核心设备。本示例模型演示基于物理气相传输 (PVT) 法制备 SiC 外延片的过程。通过感应线圈加热 SiC 粉末，当温度达到特定值后，粉末开始升华 ... 扩展阅读
