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本教学案例介绍了在大气压下对氮气中的双头流注的研究。初始的电子种子被放置在两个电极之间，这两个电极对气体施加 52 kV/cm 的初始电场，产生向电极传播的负和正流注。流注的电子密度、电场和传播速度与 ... 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中，我们研究氩等离子体的形成周期，其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ... 扩展阅读
求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读
本例举例说明如何模拟终端 边界条件下电流和电压激励之间的切换。有关这一现象的更详细描述以及建模过程，请参阅博客文章“使用 AC/DC 模块控制电流和电压源”。 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
