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电容耦合等离子体的基础物理学相当复杂，即使是相当简单的几何构型和等离子体化学反应也是如此。此模型基于多个不同计算结果对“电容耦合等离子体”物理场接口进行基准测试。 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP，其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置，以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作，具体取决于放电功率。在低功率状态（称为 α 态）下，电场振荡导致产生热量，并产生电子。在高功率状态（称为 γ 态）下，放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读
本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物（背景干空气），并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外，本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数，以便用于“等离子体 ... 扩展阅读
此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解，随后，将解转换为时域解，再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器，这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读
热电冷却器广泛用于各种电子设备冷却，涉及从消费品到航天器设计在内的各个应用领域。热电模块是热电在冷却工程中的一种常见应用，其中含有的多个热电臂夹在两块导热板中间，一块导热板受冷，另一块受热 ... 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a ... 扩展阅读
求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读
