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此模型利用等离子体，时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场，而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读
电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作，具体取决于放电功率。在低功率状态（称为 α 态）下，电场振荡导致产生热量，并产生电子。在高功率状态（称为 γ 态）下，放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读
本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。 扩展阅读
本教学案例通过研究演示氙的瞬态负迁移率和负微分电导率效应。其中使用两项近似中的稳态和瞬态玻尔兹曼方程来计算电子能量分布函数。电子能量分布函数、电子平均能量和漂移速度与 Z. Donko 和 N. Dyatko ... 扩展阅读
此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解，随后，将解转换为时域解，再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器，这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读
本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器，并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描，深入分析了反应器的性能变化。 扩展阅读
本例使用全局模型来研究中等压力下的氢等离子体反应器，其中包含重物质热方程。在研究的第一部分中，我们使用了麦克斯韦电子能量分布函数；第二部分则采用两项近似的玻尔兹曼方程来自洽地求解全局模型。 扩展阅读
本模型在分子和原子氢背景下，采用两项近似求解玻尔兹曼方程；并通过对电子能量分布函数在电子碰撞截面上的适当积分来计算电子迁移率和源项。 扩展阅读
电容耦合等离子体的基础物理学相当复杂，即使是相当简单的几何构型和等离子体化学反应也是如此。此模型基于多个不同计算结果对“电容耦合等离子体”物理场接口进行基准测试。 扩展阅读
