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求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读

电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中，我们研究氩等离子体的形成周期，其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ... 扩展阅读

本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期，以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读

此模型模拟了具有氩/汞化学性质的无极灯。汞原子的激发阈值较低，意味着即使汞的浓度很低，其特性也占主导地位。等离子体在 185 nm 和 253 nm 处发射出强紫外线，继而激发涂在灯泡表面的荧光粉。从电路角度来看 ... 扩展阅读

本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象，模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征，并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。 扩展阅读

流注放电是瞬态丝状放电，在存在强电场的情况下，可以在非导电背景中发展，这种放电可以获得较高的电子数密度，并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 ... 扩展阅读

在低温等离子体中，电子传输行为与电子能量分布函数 (EEDF) 密切相关。通常，这种能量分布函数可近似为麦克斯韦分布，但实际过程中常处于非平衡状态。如果要在空间相关模型中纳入非平衡 EEDF 特性 ... 扩展阅读

本教学案例在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体。在低功率时，电流中的谐波较小，在选定功率值下可获得完美匹配。执行功率、频率和压力扫描，并研究它们对匹配功率传输比和效率的影响。最后 ... 扩展阅读

本教学模型用于分析微波等离子体炬的工作特性。等离子体在插入矩形波导的介质管内产生，仿真以完全自洽的方式，求解等离子体在传递与加热、微波电磁场、流体流动以及传热之间的多物理场耦合方程。 扩展阅读

本模型分析 LED 中键合线的焦耳热和热膨胀现象，旨在计算键合线因发热导致的温升幅度，以及由热膨胀引发的机械应力。这些应力结果可用于评估连接 LED 与框架的楔形焊点和球形焊点的疲劳风险。 扩展阅读