ICP 反应器三维模型 - 氩化学

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在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部,并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压(20 毫托)氩气,气体从两个 2 英寸端口流入处理室,并通过一个 4 英寸端口被抽出。等离子体通过电磁感应来维持,功率从电磁场传递到电子。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块