电容耦合等离子体基准模型

Application ID: 11745


本例重现了已发布的一维电容耦合等离子体基准模型的结果。模型由恒定电流驱动,而非恒定电压驱动。离子电流、功率沉积、电子密度、离子密度和离子通量都与发布的数据进行了比较。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块