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容性耦合等离子体标准模型

Application ID: 11745


本模型再现了已发表的一维容性耦合等离子体标准模型结果。模型由恒定电流而非恒定电压驱动。离子电流,功率沉积,电子密度,离子密度和离子通量全部都与已发表的数据进行了比较。

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Plasma Module