容性耦合等离子体标准模型

Application ID: 11745


本模型再现了已发表的一维容性耦合等离子体标准模型结果。模型由恒定电流而非恒定电压驱动。离子电流,功率沉积,电子密度,离子密度和离子通量全部都与已发表的数据进行了比较。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块