静电驱动悬臂梁

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弹性悬臂梁是一种 MEMS 设计中常用的单元结构。本案例显示悬臂梁在静电载荷下的弯曲,求解了在一定电势下的变形。

本模型示例在以下产品中提供:

MEMS 模块