静电驱动悬臂梁

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弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的一种基本结构。本例演示悬臂梁在静电载荷作用下发生弯曲。求解了外加电压后梁的变形。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块