静电驱动悬臂梁

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弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的基本结构之一。此模型演示悬臂梁在外加静电载荷作用下的弯曲,求解梁在外加电压作用下的变形。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块