与两项玻尔兹曼方程耦合的 GEC ICP 反应器

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本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程,对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程,并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合。电子碰撞反应的速率常数和电子传输参数是通过在电子散射截面上计算出的电子能量分布函数进行适当积分而获得的。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: