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压阻式压力传感器

Application ID: 12629


本案例模拟了一种压阻式压力传感器。显示如何建立模型,求解由四端口压敏电阻中的膜受应力时产生的电势差。使用了压电电阻率边界电流接口。本案例模型基于早期的 MEMS 压力传感器分析:Motorola MAP 传感器 (S. D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2000)。\n\n本案例需要 MEMS 和结构力学模块。

本案例使用的模块如下:

MEMS 模块