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压阻式压力传感器

Application ID: 12629


本案例模拟了一种压阻式压力传感器。显示如何建立模型,求解由四端口压敏电阻中的膜受应力时产生的电势差。使用了压电电阻率边界电流接口。本案例模型基于早期的 MEMS 压力传感器分析:Motorola MAP 传感器 (S. D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2000)。\n\n本案例需要 MEMS 和结构力学模块。

本模型示例在以下产品中提供:

MEMS 模块

建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素,包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库,等等。不同模块可能具有相同的特定功能,详情可以查阅技术规格表,推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问,欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队,我们会为您提供满意的答复。