压阻式压力传感器,壳

Application ID: 12629


本例模拟了一种压阻式压力传感器。显示如何计算由四端口压敏电阻中嵌入的膜受外加压力作用产生变形时由应力产生的电势差。使用了“压阻,壳”接口。此模型基于早期的 MEMS 压力传感器分析:Motorola MAP 传感器(S. D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2000)。\n\n此模型需要“MEMS 模块”和“结构力学模块”。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块