三维偏压谐振器的吸合电压

Application ID: 11748


本例模拟了一个静电驱动的 MEMS 谐振器,它由平行板电容器施加一个交流 + 直流偏压来驱动。本例计算了它的吸合电压。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块