偏压谐振器的吸合电压 - 三维

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本例在时域和频域中模拟静电驱动 MEMS 谐振器,该器件由施加在平行板电容器上的交流和直流偏压驱动。本例分析了谐振频率与直流偏压的相关性,并执行了频域和瞬态分析,来研究器件性能。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: