光子波导的光-应力效应,广义平面应变

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二氧化硅 (SiO2) 中的平面光子波导在波长路由中具有巨大的应用潜力,这种波导的主要问题是存在双折射效应。各向异性折射率导致基膜拆分和脉冲展宽。本例的目标是通过调整材料和制造工艺将双折射效应降至最低程度。双折射效应的一个起因是使用硅 (Si) 晶片作为沉积波导结构的基质。

高温退火后,二氧化硅与硅层的热膨胀程度不同,导致结构在工作温度(通常为室温)下产生热应力。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: