表面微加工加速度计

Application ID: 17325


此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计,它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究(由 Kluwer Academic Publishers 出版,2003 年第 5 版,第 513 页 - 第 525 页)为基础。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: