MEMS 谐振器的热弹阻尼

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在设计 MEMS 谐振器时,热弹阻尼是一个很重要的系数。谐振器循环变形产生局部温度变化和材料的热膨胀,表现出阻尼特性。此三维模型显示如何使用全耦合的热与结构方程对 MEMS 谐振器中的热弹阻尼建模。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块