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MEMS 谐振器的热弹阻尼

Application ID: 1439


在设计 MEMS 谐振器时,热弹阻尼是很重要的系数,其反复的变形会产生局部温度变化和材料的热膨胀,因而产生阻尼,本案例为耦合热与结构方程式的三维模拟。

本案例使用的模块如下:

MEMS 模块