MEMS 谐振器的热弹阻尼

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在设计 MEMS 谐振器时,热弹阻尼是很重要的系数,其反复的变形会产生局部温度变化和材料的热膨胀,因而产生阻尼,本案例为耦合热与结构方程式的三维模拟。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块