带粘性和热阻尼的振动微镜

Application ID: 14731


微镜在某些 MEMS 器件中常用于控制光学单元。本例描述一个振动的微镜,周围是空气,通过“热粘性声-壳相互作用”多物理场接口对流-固耦合进行建模,从而可以从周围空气得到微镜的正确粘性热阻尼。微镜在扭动载荷作用下,通过频率响应和特征频率分析研究了共振频率。系统还包含一个简单的 RLC 电路模型。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

声学模块