受黏滞阻尼和热阻尼作用的振动微镜
Application ID: 14731
微镜在某些 MEMS 器件中用于控制光学元件，这个由空气包围的振动微镜模型利用“热黏性声-壳相互作用”用户界面对流-固耦合进行建模，因此它包含微镜相对于周围空气的正确黏性阻尼和热阻尼，采用频率响应分析和特征频率分析，研究微镜在扭转载荷作用下的共振频率。该系统采用一种简单的 RLC 模型。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。