快速搜索

带粘性和热阻尼的振动微镜

Application ID: 14731


微镜是一种常用的MEMS器件,用来控制光学单元。本案例描述一个振动的微镜,周围是空气,通过热声-壳接口来模拟流固耦合作用,从而可以从周围的空气得到正确的粘性的热阻尼。微镜在扭动载荷作用下,通过频率响应和特征频率分析研究了谐振频率。系统中还包含一个简单的RLC电路模型。

本模型示例在以下产品中提供:

声学模块

建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素,包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库,等等。不同模块可能具有相同的特定功能,详情可以查阅技术规格表,推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问,欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队,我们会为您提供满意的答复。