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带粘性和热阻尼的振动微镜

Application ID: 14731


微镜是一种常用的MEMS器件,用来控制光学单元。本案例描述一个振动的微镜,周围是空气,通过热声-壳接口来模拟流固耦合作用,从而可以从周围的空气得到正确的粘性的热阻尼。微镜在扭动载荷作用下,通过频率响应和特征频率分析研究了谐振频率。系统中还包含一个简单的RLC电路模型。

本案例使用的模块如下:

声学模块

针对您的实际问题,建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于定义该问题的物理场接口。特定的物理场接口可能同时包含于多个产品中(参见技术规格表获取更多详细信息)。在您为一个项目确定最佳的产品组合时,我们建议您首先明确自身的所有需求,然后通过以下几种方式依据需求选取所需的产品:了解各个产品的功能、咨询 COMSOL 销售和技术支持团队,以及使用试用许可证进行软件试用。