受粘滞阻尼和热阻尼作用的振动微镜

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微镜在某些 MEMS 器件中用于控制光学元件,这个由空气包围的振动微镜模型利用“热粘性声-壳相互作用”用户界面对流-固耦合进行建模,因此它包含微镜相对于周围空气的正确粘性阻尼和热阻尼,采用频率响应分析和特征频率分析,研究微镜在扭转载荷作用下的共振频率。该系统采用一种简单的 RLC 模型。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

声学模块