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微波加热导致的放电可以非常简单,例如使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如在 ECR(电子回旋共振)反应器中的放电。在本案例中,微波发射到反应器中,产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。 扩展阅读
压电器件广泛用作产生声波的声源或检测声信号的接收器。在超声成像和无损检测等应用中,同一个换能器既可用作发射器发送源信号,也可用作接收器检测回波。 本模型演示了如何使用 COMSOL Multiphysics ... 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此 ... 扩展阅读
本案例模拟了施加正弦时变压差的电容器,分析了较宽的频率范围,并计算了器件的阻抗。解决了求解器精度,讨论了器件的频域阻抗与稳态电容和电阻之间的关系。 扩展阅读
此模型利用等离子体,时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场,而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读
这个介绍性模型创建了一个简单的静磁问题模型,其中一根无限长的线缆承载电流,这是教科书中常见的一个案例。由于这个问题有解析解,因此可以使用该模型将理论结果与仿真的数值结果进行比较。本例中的线缆仍然有一个有限的半径 ... 扩展阅读
本教学案例演示如何求解等离子体和半导体等色散介质中的全瞬态波动方程。二维 TM 面内波模型根据波动方程求解矢势,并根据常微分方程求解辅助电极化密度。 几何结构由一块具有亚波长狭缝的色散板组成,其中应用周期性边界条件 ... 扩展阅读
