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本例模拟一个静电驱动的 MEMS 谐振器。该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中计算谐振器的吸合和释放电压。这是通过对从初始松弛状态一直到吸合平坦状态的整个运动范围的位移-电压轨迹执行准静态分析完成的。 扩展阅读
模型比较了采用虚功 和麦克斯韦应力张量 方法计算的轴向磁轴承上的电磁力，通过研究小位移对系统电磁能的影响来计算力，这是使用磁场、变形几何 及灵敏度 物理场接口实现的。 扩展阅读
此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何根据仿真结果创建散射图。散射曲线可以根据波数的实值和虚值绘制，分别对应于传播模和消失模。我们可以通过绘制每种模式的位移场为其生成可视化效果 ... 扩展阅读
压膜气体阻尼是许多 MEMS 换能器和执行器中的关键要素。以加速度计为例，当受到惯性作用时，器件能够检测到相应的运动。其典型的结构是将一个较大的质量块通过弹性梁与周围结构相连，形成一个具有特定共振频率的机械振荡器。然而 ... 扩展阅读
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在三维中模拟 SMR，其中通过附着在传感器表面的不同颗粒数来计算特征模态，分析灵敏度，并研究频率响应的相应变化 ... 扩展阅读
本教学案例使用“不确定性量化”来研究制造变化对二维固态装配谐振器 (2D SMR) 性能的影响，演示了压电层和布拉格反射层的厚度变化如何影响谐振频率，其中采用一种有效的技术，即在“不确定性量化 ... 扩展阅读
本教学案例由 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供。通过对基本模型“梳驱动音叉式微速率陀螺仪”（也由 Ransley 博士提供）进行扩展 ... 扩展阅读
这个基准模型在频域和时域中计算作用在振动圆盘上的总力，并将两个结果与通过解析方式推导的表达式进行了比较。当振幅足够小时，系统呈线性，频域和时域结果与理论值非常一致。在时域中探讨了较大幅度的振动 ... 扩展阅读