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该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP,其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置,以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
In this example, an CF4/O2 plasma reactor at low pressure is studied using a global model. Parametric sweeps ... 扩展阅读
这组验证模型及相关文档研究电磁力计算的精度,其中利用各种技术,确定了刚体上的总力和扭矩,并将这两个值与解析模型进行了比较。 通过采用圆角、高级网格划分以及外部力-探针表面,精度大大提高,比较了边界元法 (BEM) ... 扩展阅读
此模型的目的是阐明如何使用“膜”接口模拟超弹性薄结构。本例与案例库模型“球形橡胶气球的膨胀”相同,不同之处在于此例使用“膜”接口,而不是“固体力学”接口。 扩展阅读
本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器,并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描,深入分析了反应器的性能变化。 扩展阅读
This tutorial model solves for an inductively coupled plasma reactor in a mixture of CF4/O2. The plasma ... 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此 ... 扩展阅读
