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本例使用全局模型来研究中等压力下的氢等离子体反应器,其中包含重物质热方程。在研究的第一部分中,我们使用了麦克斯韦电子能量分布函数;第二部分则采用两项近似的玻尔兹曼方程来自洽地求解全局模型。 扩展阅读
表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中,随后模拟硅在晶片上的生长。 最初,使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解,计算了流体流动和气体加热过程。此外,还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的电感耦合等离子体反应器。该模型计算流体流动和气体加热,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
石墨烯是一种由碳原子排列成二维六方晶格的材料,自从被大约二十年前的实验发现以来,它引起了人们广泛的研究兴趣,具有广阔的应用前景。除了超薄以外,这种神奇的材料还表现出许多有趣的属性,包括高导电和导热性、高弹性、高机械强度 ... 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP,其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置,以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
此基准模型模拟砷化镓纳米线,其中使用自洽薛定谔-泊松理论计算电子密度分布和限制电势分布。预定义的薛定谔-泊松多物理场耦合特征与专用的薛定谔-泊松研究类型相结合,可简化模型设置和自动创建参数可调的自洽迭代的过程 ... 扩展阅读