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面内微波等离子体

本案例模型演示设置一个二维氩气等离子体模型,通过电磁波持续放热。

直流辉光放电

直流辉光放电长久以来用于低电压气体激光和荧光灯,它吸引人之处在于解是瞬态变化的。本二维模型说明如何使用直流放电物理场接口来分析一个阳极区,阴极的第二个电子发射端维持放电过程。

ICP 反应器

本案例研究一个感应耦合等离子体的三维效应,非对称的压力场导致晶圆表面的非均匀通量。

热等离子体

本案例模拟 1 torr 下高密度导电耦合等离子体,计算中性气体温度,流场,以及组成等离子体的其他成份。当激发的氩原子熄灭时加热气体。

容性耦合等离子体

这个 App 应用程序提供了一个一维容性等离子体内的瞬时和周期性稳态解。可以输入几何、压力和电势,以及求解的 RF 循环的频率和数量。除了瞬时和时间平均绘图,还计算了功率沉积和电流的全局量。

大气压下电晕放电

本案例模拟在两个共轴导体之间的阴极电晕放电。外侧导体接地,内侧导体带负电势。模拟了在大气压下氩气的放电现象。

离子能量分布函数

本模型计算了感应耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设定为 Maxwellian 分布函数。

本模型需要粒子追踪模块。

氧气 Boltzmann 分析

本案例模型模拟漂移管中氧气放电时的漂移速度,与实验结果进行比较。

表面化学教程

本案例模型显示如何模拟化学气相沉积(CVD)中的表面反应和物质分布。模型中,硅在一个圆片上生长,系统中的总质量和摩尔浓度守恒。最后,得到了沉积的硅的厚度与时间的函数关系。

GEC ICP 反应器 中文

本案例研究 GEC 氩化学参比池中的电子特征。

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