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本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体,并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中,我们研究氩等离子体的形成周期,其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ... 扩展阅读
在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部,并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气,气体从两个 2 ... 扩展阅读
此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF),结果与实验数据非常一致。 扩展阅读
此模型利用等离子体,时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场,而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读
