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直流辉光放电

直流辉光放电长久以来用于低电压气体激光和荧光灯,它吸引人之处在于解是瞬态变化的。本二维模型说明如何使用直流放电物理场接口来分析一个阳极区,阴极的第二个电子发射端维持放电过程。

大气压下电晕放电

本案例模拟在两个共轴导体之间的阴极电晕放电。外侧导体接地,内侧导体带负电势。模拟了在大气压下氩气的放电现象。

热等离子体

本案例模拟 1 torr 下高密度导电耦合等离子体,计算中性气体温度,流场,以及组成等离子体的其他成份。当激发的氩原子熄灭时加热气体。

介质阻挡放 电

本案例模型模拟大气压气体的电击穿,这是一个复杂的过程,所以这里只模拟了一维的情况。为了说明击穿过程中的物理现象,采用了一个简单的氩气装置,减少了物质和反应数量。

GEC ICP 反应器 中文

本案例研究 GEC 氩化学参比池中的电子特征。

表面化学教程

本案例模型显示如何模拟化学气相沉积(CVD)中的表面反应和物质分布。模型中,硅在一个圆片上生长,系统中的总质量和摩尔浓度守恒。最后,得到了沉积的硅的厚度与时间的函数关系。

漂移扩散教学模型

COMSOL Multiphysics 等离子体模块的基础是描述电子传递的漂移扩散模型,它用来求解一套反应/对流/扩散方程,其中一个对应于电子密度,其他的对应于平均电子能。

电感耦合等离子体(ICP)炬

这个模型研究大气压下电感耦合等离子体炬中的电和热特征。假设在局部热力学平衡条件下放电。

面内微波等离子体

本案例模型演示设置一个二维氩气等离子体模型,通过电磁波持续放热。

ICP 反应器

本案例研究一个电感耦合等离子体的三维效应,非对称的压力场导致晶圆表面的非均匀通量。

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