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COMSOL-News-Magazine-2017
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COMSOL-News-Magazine-2016

直流辉光放电

低压直流辉光放电一直用于气体激光器和荧光灯。直流放电之所以值得研究,是因为仿真得到的解是瞬时的。该二维模型演示如何使用“直流放电”接口设置阳极区的仿真分析。阴极上的二次电子发射维持放电过程。

电介质阻挡放电

本例模拟常压下气体的电击穿。这是一个复杂的过程,所以这里只考虑了一维模型的情况。为了说明击穿过程中的物理现象,本例采用了一个简单的氩气化学反应,尽可能地减少了物质和反应数量。

空气中大气压电晕放电

本例研究大气压下干燥空气中的同轴直流电晕放电。其尺寸和工作条件与具有线-板配置的静电除尘器中的类似。内电极半径为 100 mm,电极之间的间隙为 10 cm。此模型执行稳态仿真,放电时内部电极电压维持 10s kV,外部电极接地。主要模拟带电粒子的产生和传输,以及如何转化为放电的电流-电压特性。

面内微波等离子体

本教程示例设置了一个二维氩气等离子体模型,通过电磁波持续放热。

大气压下电晕放电

本例模拟在两个共轴导体之间的阴极电晕放电。外侧导体接地,内侧导体带负电势。模拟了在大气压下氩气的放电现象。

热等离子体

本例模拟 1 托气压下高密度电感耦合等离子体,计算中性气体温度、流场,以及组成等离子体的其他成份。当激励的氩原子熄灭时气体受热升温。

GEC ICP 反应器,氩化学 中文

本例研究 GEC 氩化学参比池中的电特性。

三维 ICP 反应器,氩化学

本例研究一个电感耦合等离子体的三维效应。非对称的压力场导致晶圆表面的通量不均匀。

表面化学反应教程模型

本例介绍如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中。本教程模拟硅在晶片上的生长,并演示系统中的总质量和摩尔浓度守恒。最后,研究了沉积硅高度随时间的变化情况。首先用全局(体积平均)模型,然后用空间相关模型,来研究同一物理场问题。

电容耦合等离子体基准模型

本例重现了已发布的一维电容耦合等离子体基准模型的结果。模型由恒定电流驱动,而非恒定电压驱动。离子电流、功率沉积、电子密度、离子密度和离子通量都与发布的数据进行了比较。

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