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直流辉光放电

低压直流辉光放电一直用于气体激光器和荧光灯。直流放电之所以值得研究,是因为仿真得到的解是瞬时的。该二维模型演示如何使用“直流放电”接口设置阳极区的仿真分析。阴极上的二次电子发射维持放电过程。

空气中大气压电晕放电

此教学模型研究大气压下干燥空气中的同轴直流电晕放电。其尺寸和工作条件与具有线-板配置的静电除尘器中的类似,内部线电极半径为 100 mm,电极之间的间隙为 10 cm。

该模型求解漂移扩散近似中的电子和离子连续性和动量方程,与泊松方程自洽耦合。使用“局部场近似”,这意味着传递系数和源系数假定为通过约化电场进行了很好地参数化。

此模型执行稳态仿真,持续放电,并对内部电极施加几十 kV 的电压,外部电极接地。主要模拟带电粒子的产生和传输,以及如何转化为放电的电流-电压特性。

介质阻挡放电

本例模拟常压下气体的电击穿。这是一个复杂的过程,所以这里只考虑了一维模型的情况。为了说明击穿过程中的物理现象,本例采用了一个简单的氩气化学反应,尽可能地减少了物质和反应数量。

GEC 电感耦合等离子体反应器,氩化学 中文

本例研究 GEC 氩化学参比池中的电特性。

热等离子体

本例模拟 1 托气压下高密度电感耦合等离子体,计算中性气体温度、流场,以及组成等离子体的其他成份。当激励的氩原子熄灭时气体受热升温。

面内微波等离子体

本教程示例设置了一个二维氩气等离子体模型,通过电磁波持续放热。

大气压下电晕放电

本例模拟在两个共轴导体之间的阴极电晕放电。外侧导体接地,内侧导体带负电势。模拟了在大气压下氩气的放电现象。

三维电感耦合等离子体反应器,氩化学

本例研究一个电感耦合等离子体的三维效应。非对称的压力场导致晶圆表面的通量不均匀。

电感耦合等离子体 (ICP) 炬

本例研究大气压下电感耦合等离子体炬中的电和热特征。假设在局部热力学平衡条件下放电。

电容耦合等离子体基准模型

本例重现了已发布的一维电容耦合等离子体基准模型的结果。模型由恒定电流驱动,而非恒定电压驱动。离子电流、功率沉积、电子密度、离子密度和离子通量都与发布的数据进行了比较。

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