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热等离子体

本例模拟 1 托气压下高密度电感耦合等离子体,计算中性气体温度、流场,以及组成等离子体的其他成份。当激励的氩原子熄灭时气体受热升温。

直流辉光放电

低压直流辉光放电一直用于气体激光器和荧光灯。直流放电之所以值得研究,是因为仿真得到的解是瞬时的。该二维模型演示如何使用“直流放电”接口设置阳极区的仿真分析。阴极上的二次电子发射维持放电过程。

大气压下电晕放电

本例模拟在两个共轴导体之间的阴极电晕放电。外侧导体接地,内侧导体带负电势。模拟了在大气压下氩气的放电现象。

电介质阻挡放电

本例模拟常压下气体的电击穿。这是一个复杂的过程,所以这里只考虑了一维模型的情况。为了说明击穿过程中的物理现象,本例采用了一个简单的氩气化学反应,尽可能地减少了物质和反应数量。

GEC ICP 反应器,氩化学 中文

本例研究 GEC 氩化学参比池中的电特性。

漂移扩散教学模型

“等离子体模块”的基础是电子传递的漂移扩散方程。“漂移扩散”接口求解一对反应/对流/扩散方程,其中一个方程对应于电子密度,另一个方程对应于平均电子能。

电感耦合等离子体 (ICP) 炬

本例研究大气压下电感耦合等离子体炬中的电和热特征。假设在局部热力学平衡条件下放电。

三维 ICP 反应器,氩化学

本例研究一个电感耦合等离子体的三维效应。非对称的压力场导致晶圆表面的通量不均匀。

面内微波等离子体

本教程示例设置了一个二维氩气等离子体模型,通过电磁波持续放热。

电容耦合等离子体基准模型

本例重现了已发布的一维电容耦合等离子体基准模型的结果。模型由恒定电流驱动,而非恒定电压驱动。离子电流、功率沉积、电子密度、离子密度和离子通量都与发布的数据进行了比较。

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