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偶极微波等离子体源

本案例研究了通过电子回旋加速器共振(ECR)维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入通量只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度(0.0875[T])。

离子能量分布函数

本模型计算了电感耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设为 Maxwellian 分布函数。

本模型需要粒子追踪模块。

容性耦合等离子体

这个 App 应用程序提供了一个一维容性等离子体内的瞬时和周期性稳态解。可以输入几何、压力和电势,以及求解的 RF 循环的频率和数量。除了瞬时和时间平均绘图,还计算了功率沉积和电流的全局量。

容性耦合等离子体标准模型

本模型再现了已发表的一维容性耦合等离子体标准模型结果。模型由恒定电流而非恒定电压驱动。离子电流,功率沉积,电子密度,离子密度和离子通量全部都与已发表的数据进行了比较。

氩气 Boltzmann 分析

本案例模型研究氩气放电时,设置不同的电子能分布函数和速率参数的参数产生的效果。

氧气 Boltzmann 分析

本案例模型模拟漂移管中氧气放电时的漂移速度,与实验结果进行比较。

GEC CCP 反应器

NIST GEC CCP 反应器为研究容性耦合等离子体提供了一个平台,本案例模型研究 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理,它还包含一个连接等离子体和电源的外部电路。

无极灯

本案例研究无极灯中的发射谱和电能转换成光能的机理,模型中包含 96 个反应和 12 种物质。

功率沉积到双频容性耦合等离子体中的谐波量

一个容性耦合等离子体(CCP)中的时变静电场中的能量传递并不完全 RF 的二倍频消耗,由于在这个过程中的高度非线性,功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会发生谐波。

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