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离子能量分布函数

本模型计算了感应耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设定为 Maxwellian 分布函数。

本模型需要粒子追踪模块。

表面化学教程

本案例模型显示如何模拟化学气相沉积(CVD)中的表面反应和物质分布。模型中,硅在一个圆片上生长,系统中的总质量和摩尔浓度守恒。最后,得到了沉积的硅的厚度与时间的函数关系。

介质阻挡放 电

本案例模型模拟大气压气体的电击穿,这是一个复杂的过程,所以这里只模拟了一维的情况。为了说明击穿过程中的物理现象,采用了一个简单的氩气装置,减少了物质和反应数量。

漂移扩散教学模型

COMSOL Multiphysics 等离子体模块的基础是描述电子传递的漂移扩散模型,它用来求解一套反应/对流/扩散方程,其中一个对应于电子密度,其他的对应于平均电子能。

GEC ICP 反应器 中文

本案例研究 GEC 氩化学参比池中的电子特征。

氩气 Boltzmann 分析

本案例模型研究氩气放电时,设定不同的电子能分布函数和速率参数的参数产生的效果。

容性耦合等离子体标准模型

本模型再现了已发表的一维容性耦合等离子体标准模型结果。模型由恒定电流而非恒定电压驱动。离子电流,功率沉积,电子密度,离子密度和离子通量全部都与已发表的数据进行了比较。

GEC CCP 反应器

NIST GEC CCP 反应器为研究容性耦合等离子体提供了一个平台,本案例模型研究 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理,它还包含一个连接等离子体和电源的外部电路。

功率沉积到双频容性耦合等离子体中的谐波量

一个容性耦合等离子体(CCP)中的时变静电场中的能量传递并不完全 RF 的二倍频消耗,由于在这个过程中的高度非线性,功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会发生谐波。

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