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电感耦合等离子体 (ICP) 炬

本例研究大气压下电感耦合等离子体炬中的电和热特征。假设在局部热力学平衡条件下放电。

漂移扩散教学模型

“等离子体模块”的基础是电子传递的漂移扩散方程。“漂移扩散”接口求解一对反应/对流/扩散方程,其中一个方程对应于电子密度,另一个方程对应于平均电子能。

玻尔兹曼直流辉光放电 中文

此 App 对直流辉光放电建模。使用玻尔兹曼方程,两项近似 接口计算电子能分布函数 (EEDF) 和电子传递属性。由于玻尔兹曼方程,两项近似 接口的输入参数(例如,等离子体的电离度)事先未知,因此要执行一个迭代过程。其中交替计算了玻尔兹曼研究和等离子体研究,直到电子密度的偏差低于用户定义的值。因此,可以检查几何每个点处的 EEDF。

电容耦合等离子体 中文

该 App 提供了一个一维电容耦合等离子体内的瞬时和周期性稳态解。可以输入几何、压力和外加电压,以及要求解的 RF 循环的频率和数量。除了绘制瞬时绘图和时间平均绘图外,还计算了功率沉积和电流的全局量。

偶极微波等离子体源

本例研究了通过电子回旋共振 (ECR) 维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入的功率沉积只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度 (0.0875 T)。

需要“等离子体模块”、“AC/DC 模块”和“RF 模块”。

Applying a Current-Voltage Switch to Models

This example exemplifies how to model the switching between current and voltage excitations in *Terminal* boundary conditions. A more detailed description of the phenomenon and the modeling process can be seen in the blog post "[Control Current and Voltage Sources with the AC/DC Module](https://www.comsol.com/blogs/control-current-and-voltage-sources-with-the-acdc-module/)".

微波微等离子体

微尺度放电间隙中的等离子体能够在高压(一个大气压)下运动,电子数密度 (1E20 m^-3) 和功率密度 (1E9 W/m^3) 都较高,同时重粒子上保持相对较低的温度。此模型模拟大气压条件下,微波范围内由时变电激励所维持的氩等离子体。此模型在所施加的场方向上是一维的,描述了等离子体多个宏观属性的空间和时间演变。

离子能量分布函数

本例计算了电感耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数 (IEDF) 。离子初始设为 Maxwellian 分布函数,随后受到稀薄的背景气体的弹性碰撞和电荷交换反应的共同作用。

一维 GEC CCP 反应器,氩化学

NIST GEC CCP 反应器提供了研究电容耦合等离子体的平台。本例研究在频率为 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理。

氮中的负流注

流注是在强电场作用下在非导电背景中发展的瞬态丝状放电。可以获得高电子数密度,从而获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。

流注的传播由完全非线性动力学驱动,涉及非常陡峭的密度梯度和分布在非常薄的层中的高空间电荷密度。此教学模型研究 -100 kV/cm 恒定电场下大气压水平的氮中的负流注。这是一维模型,描述了初始电子种子在未受干扰的电场中电子增长形成流注传播的瞬态特性。