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离子能量分布函数

本模型计算了电感耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设为 Maxwellian 分布函数。

本模型需要粒子追踪模块。

偶极微波等离子体源

本案例研究了通过电子回旋加速器共振(ECR)维持的偶极微波等离子体源。从电磁波向等离子体注入通量只发生在一个很狭窄的共振区域,其中的稳态磁通密度等于共振通量密度(0.0875[T])。

容性耦合等离子体

这个 App 应用程序提供了一个一维容性等离子体内的瞬时和周期性稳态解。可以输入几何、压力和电势,以及求解的 RF 循环的频率和数量。除了瞬时和时间平均绘图,还计算了功率沉积和电流的全局量。

无极灯

本案例研究无极灯中的发射谱和电能转换成光能的机理,模型中包含 96 个反应和 12 种物质。

氧气 Boltzmann 分析

本案例模型模拟漂移管中氧气放电时的漂移速度,与实验结果进行比较。

氩气 Boltzmann 分析

本案例模型研究氩气放电时,设置不同的电子能分布函数和速率参数的参数产生的效果。

GEC CCP 反应器

NIST GEC CCP 反应器为研究容性耦合等离子体提供了一个平台,本案例模型研究 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理,它还包含一个连接等离子体和电源的外部电路。

容性耦合等离子体标准模型

本模型再现了已发表的一维容性耦合等离子体标准模型结果。模型由恒定电流而非恒定电压驱动。离子电流,功率沉积,电子密度,离子密度和离子通量全部都与已发表的数据进行了比较。

功率沉积到双频容性耦合等离子体中的谐波量

一个容性耦合等离子体(CCP)中的时变静电场中的能量传递并不完全 RF 的二倍频消耗,由于在这个过程中的高度非线性,功率沉积将发生在比二倍频更高的频率。对于双频 CCP 反应器,在很多不同频率上会发生谐波。

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