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本教学案例介绍了在大气压下对氮气中的双头流注的研究。初始的电子种子被放置在两个电极之间，这两个电极对气体施加 52 kV/cm 的初始电场，产生向电极传播的负和正流注。流注的电子密度、电场和传播速度与 ... 扩展阅读
本模型在分子和原子氢背景下，采用两项近似求解玻尔兹曼方程；并通过对电子能量分布函数在电子碰撞截面上的适当积分来计算电子迁移率和源项。 扩展阅读
本例使用全局模型来研究中等压力下的氢等离子体反应器，其中包含重物质热方程。在研究的第一部分中，我们使用了麦克斯韦电子能量分布函数；第二部分则采用两项近似的玻尔兹曼方程来自洽地求解全局模型。 扩展阅读
本教学案例通过研究演示氙的瞬态负迁移率和负微分电导率效应。其中使用两项近似中的稳态和瞬态玻尔兹曼方程来计算电子能量分布函数。电子能量分布函数、电子平均能量和漂移速度与 Z. Donko 和 N. Dyatko ... 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器，并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描，深入分析了反应器的性能变化。 扩展阅读
This tutorial model explores the behavior of a microwave plasma torch. The plasma is generated within a ... 扩展阅读
Electron transport in low-temperature plasmas depends strongly on the electron energy distribution function ... 扩展阅读
This tutorial studies the deposition of amorphous silicon using an inductively coupled plasma reactor with a ... 扩展阅读