使用混合公式模拟微机械陀螺仪

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本教程演示一款陀螺仪的工作原理,其设计基于 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供的方案,模型中采用了混合有限元格式的“静电”接口与“机电”进行耦合。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: