压电 MEMS 扬声器

Application ID: 78021


此模型分析压电微机电系统 (MEMS) 扬声器。该扬声器由四个三角形膜组成,其中使用一层锆钛酸铅 (PZT) 材料,并且硅层顶部有两个电极作为执行器。三角形膜由狭窄的气隙隔开,从而使膜具有较大的挠度。间隙中的热黏性损失会限制气流,使得四个执行器在声学上表现为单个膜。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: