梳驱动音叉式微速率陀螺仪中制造偏差的影响

Application ID: 89261


本教学案例由 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供。通过对基本模型“梳驱动音叉式微速率陀螺仪”(也由 Ransley 博士提供)进行扩展,演示如何在无需非常精细的网格的情况下,精确计算 MEMS 器件制造偏差的影响。这种高效的建模方法基于 COMSOL Multiphysics 独特的“变形几何”功能,其中使用相同的网格实现了由于制造缺陷导致的器件形状变化,从而消除了对不同的几何形状使用不同的网格时引入的误差。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: