偏压谐振器的吸合和释放分析 - 二维

Application ID: 22141


本例模拟一个静电驱动的 MEMS 谐振器。该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中计算谐振器的吸合和释放电压。这是通过对从初始松弛状态一直到吸合平坦状态的整个运动范围的位移-电压轨迹执行准静态分析完成的。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: