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弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的基本结构之一。此模型演示悬臂梁在外加静电载荷作用下的弯曲，求解梁在外加电压作用下的变形。 扩展阅读
体声波 (BAW) 谐振器在射频应用中可用作窄带滤波器。与传统的陶瓷电磁谐振器相比，其主要优势在于，由于声波长比电磁波长小得多，BAW 谐振器可以做得更小。 除了所需的体声波模式外 ... 扩展阅读
本教学案例分析一个四波导结构的小铝板的振动特性。这是一个位于设备（例如智能扬声器、电机或 MEMS 器件）中的结构件例子，弹性波在这种设备中传播，其中的板可以被认为是一个机械多端口系统。该模型在波导结构的入口 ... 扩展阅读
COMSOL Multiphysics 5.2 版引入了一种指定用户定义材料模型的新方法。 对于结构力学，您可以在域中完全定义材料模型，也可以向弹性材料添加非弹性应变贡献。 外部材料函数用 C 语言编码 ... 扩展阅读
表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器，谐振器的谐振频率受热应力的影响，使用折叠弹簧减轻这种影响。 ... 扩展阅读
电容式微机械超声换能器 (CMUT) 是一种微型接收器，可以将超声波转换为用于高分辨率成像应用的电信号。这种 CMUT 设计具有优化的力-位移特性，以提高转换效率。改进的核心是位移均匀性因子，可以通过“频域，预应力 ... 扩展阅读
此模型介绍如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读
材料受到循环应力作用时产生的热弹性阻尼是设计 MEMS 谐振器时要考虑的一个重要因素，应力引起变形，材料在压应力作用下受热，在拉应力作用下冷却，因此，由于产生的热通量，能量发生损耗，来产生这种阻尼。 ... 扩展阅读