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本模型演示如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读
体声波 (BAW) 谐振器在射频应用中可用作窄带滤波器。与传统的陶瓷电磁谐振器相比，其主要优势在于，由于声波长比电磁波长小得多，BAW 谐振器可以做得更小。 除了所需的体声波模式外 ... 扩展阅读
本教学案例是一个简单的示例，介绍如何使用多层壳功能为压电器件建模。 本例研究了两种材料取向的情况。在第一种情况下，极轴垂直于壳表面，这导致变形的壳的厚度发生变化。在第二种情况下，极轴与壳相切，这导致壳发生弯曲。 扩展阅读
兰姆波谐振器作为射频应用中的核心元件，在通信、传感等领域发挥着至关重要的作用。 本例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真，并通过特征频率和频率响应分析，全面表征该器件的性能。 本教程使用多层壳中的电流 和多层壳 ... 扩展阅读
表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器，谐振器的谐振频率受热应力的影响，使用折叠弹簧减轻这种影响。 ... 扩展阅读
此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计，它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究（由 Kluwer Academic ... 扩展阅读
本教学案例演示如何从 MEMS 换能器的 FEM 模型推导出其集总模型，其中包含电容式微机械超声换能器 (CMUT) 的 FEM 模型以及使用“集总机械系统”(LMS) 接口创建的相应集总模型，并通过“参数估计 ... 扩展阅读
此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何根据仿真结果创建散射图。散射曲线可以根据波数的实值和虚值绘制，分别对应于传播模和消失模。我们可以通过绘制每种模式的位移场为其生成可视化效果 ... 扩展阅读
