复合薄膜体声波谐振器

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体声波 (BAW) 谐振器在射频应用中可用作窄带滤波器。与传统的陶瓷电磁谐振器相比,其主要优势在于,由于声波长比电磁波长小得多,BAW 谐振器可以做得更小。

除了所需的体声波模式外,谐振器结构还可以包含许多间距较窄的寄生波模式。设计目标通常是尽可能提高主要元件的质量,同时减小寄生波模式的影响。

示例介绍如何使用特征频率分析和频率响应分析在二维模式下对薄膜体声波谐振器进行建模。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

MEMS 模块