氯放电全局模型
Application ID: 47611
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。
本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此，这种模型成为研究大型反应序列和扩展参数区域的理想选择。
“氯放电”模型研究 50 到 600 瓦的吸收功率，工作压力为 1 到 100 mTorr。电子密度、电子温度和氯原子密度等多个相关物理量的模型结果与文献中电感耦合等离子体反应器中的测量结果非常一致。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。