玻尔兹曼全局模型 - 氩

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电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中,我们研究氩等离子体的形成周期,其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生。局部场近似中的全局模型用于描述等离子体物质随时间变化的情况。我们通过对 EEDF 进行适当的横截面积分得出电子碰撞反应和电子迁移率的速率系数,并在每个时间步使用两项近似玻尔兹曼方程来计算 EEDF。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: